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- [实用新型]反应炉-CN201620841599.6有效
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雷奇奇
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2016-08-05
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2016-12-28
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C23C16/455
- 本实用新型提供了一种反应炉,包括:反应腔和气体管路,所述气体管路包含多个喷嘴,所述多个喷嘴设置在所述反应腔内,所述多个喷嘴上都设置有开口调节片。本实用新型提供的反应炉,通过包含多个喷嘴的气体管路设置在反应腔内,使反应气体能够在反应腔内快速且均匀分布;进一步的,通过在每个喷嘴上设置开口调节片可单独调节喷嘴开口的大小,满足不同反应的需要。从而使反应腔能够满载利用,并提高了成膜工艺中晶圆的成膜均匀性,提高了机台的使用率,进一步降低了生产成本。
- 反应炉
- [实用新型]反应炉-CN202023121104.8有效
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李时俊;李军阳;刘兵吉;黄章羽
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2020-12-22
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2021-08-20
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态
- 反应炉
- [发明专利]一种环流型炭黑反应炉-CN201911139405.2有效
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纪益彪;黄锡甫;周银春;邱燕云
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宁波德泰化学有限公司
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2019-11-20
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2021-07-06
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C09C1/50
- 本发明公开了一种环流型炭黑反应炉,包括加热室和反应室,反应室包括第一反应炉和第二反应炉,第一反应炉的两侧设置有第二反应炉,第一反应炉与第二反应炉相连通,第二反应炉的前端固定有加热室,加热室与第二反应炉相连通,第一反应室的内部固定设置有增压导流装置,第一反应室的内部还设置有第一原料油喷头,第一原料油喷头的后端伸出第一反应炉,第一反应炉的后端密封;优点是在第一反应炉内设置有增压导流装置,增压导流装置的设置可使得从两侧进入到第一反应炉内的气流汇聚增压,使得第一反应炉升温较快、气流量较大,高温可使得原料油充分裂解生成炭黑。气流可减少生产的炭黑沉积附着在反应炉的内壁上,减少人工清理的次数,降低人工成本。
- 一种环流炭黑反应炉
- [发明专利]一种反应炉-CN202211700665.4在审
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薄占祥;刘荣庆
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河北东鼎化工贸易有限公司
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2022-12-29
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2023-06-23
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B01J19/00
- 本发明提供一种反应炉,涉及反应炉技术领域。该反应炉,包括反应炉本体,所述反应炉本体内底部外侧设置有下烟道,所述反应炉本体内底部中心处设置有搅拌器;所述反应炉本体内部中心处设置有反应室,位于所述反应室外侧的反应炉本体内部设置有夹套加热区;所述反应炉本体上端面中心处贯穿设置有进料器,所述反应炉本体内顶部设置有加热室,所述进料器与加热室之间设置有两个燃嘴。该反应炉的反应炉弧形炉顶和反应室炉墙为主要传热区,传热面积达到50平米,反应料层高度增加到350毫米,从而实现产量提高到40吨/天;400天不漏酸;利用热能率达到85%;人工、电量、设备折损率、燃料,每吨硫酸钾消耗降低
- 一种反应炉
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